Silicon on insulator绝缘体上硅
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引言
在硅光领域,很多时候我们都会听到一个名称,绝缘体上硅(
S
O
I
SOI
SOI),那么什么是
S
O
I
SOI
SOI 呢?这里给大家介绍一下。
正文
其实这个问题的答案已经包含在本身的名称中了,即在绝缘体上的硅,在硅光领域的芯片生产中,通常我们会在基底
S
i
O
2
SiO_2
SiO2 上放上一层硅,这种
S
i
Si
Si 在 绝缘体
S
i
O
2
SiO_2
SiO2 上的结构就被称作绝缘体上硅。
S
i
Si
Si 对于波长范围
1.1
−
3.6
u
m
1.1-3.6\; um
1.1−3.6um 的光波都是透明的,因此,我们可以使得这个波段的光波在
S
i
Si
Si 中传输,并且具有很小的损耗。当硅被放置在绝缘体上时,外部包层如果我们采用空气,那么使用特定的
S
i
Si
Si 结构,光波就可以被限制在该结构中进行传输,该结构我们通常也称之为波导。
示意图
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